十萬級潔淨室是指將一定空間範圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之汙染物排除，並將室內之溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控製在某一需求範圍內，而所給予特別設計之房間。無塵室亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔淨度、溫濕度及壓力等性能之特性。主要之作用在於控製產品所接觸之大氣的潔淨度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、製造，此空間稱之為（無塵室/潔淨室）。
十萬級潔淨室外觀檢查應符合以下要求：
1、各種管道、自動滅火裝置及淨化空調設備空調器、風機、淨化空調機組、高效空氣過濾器和空氣吹淋室等的安裝應正確、牢固、嚴密其偏差應符合有關規定。
2、高、中效空氣過濾器與支撐框架的連接及風管與設備的連接處應有可靠密封。
3、各類調節裝置應嚴密、調節靈活、操作方便。
4、淨化空調箱、靜壓箱、風管係統及送、回風口無灰塵。
5、潔淨室的內牆麵、頂棚表麵和地麵應光滑、平整、色澤均勻不起灰塵地板無靜電現象。
6、送、回風口及各類末端裝置、各類管道、照明和動力線配管以及工藝設備等穿越潔淨室時穿越處的密封處理應嚴密可靠。
7、潔淨室內各類配電盤、櫃和進入潔淨室的電氣管線、管口應密封可靠。
8、各種塗刷、保溫工作應符合有關規定。
